高壓真空斷路器因其滅弧介質(zhì)和滅弧后接觸間隙的絕緣介質(zhì)為高真空而得名；它具有體積小、重量輕、操作頻繁、無需維護滅弧的優(yōu)點。它在配電網(wǎng)絡(luò)中得到了廣泛的應(yīng)用。293年，美國里頓提出了一個結(jié)構(gòu)簡單的真空滅弧室，并獲得了設(shè)計專利。1920年，瑞典佛加公司制造了真空開關(guān)。1926年發(fā)布的研究結(jié)果也顯示了在真空中分斷電流的可能性，但由于分斷能力小，受真空技術(shù)和真空材料開發(fā)水平的限制，無法投入實際使用。隨著真空技術(shù)的發(fā)展，美國在20世紀50年代制造了一批適合切斷電容器組等特殊要求的真空開關(guān)，分斷電流仍停止在4000安的水中。由于真空材料的技術(shù)步驟和真空開關(guān)的研究取得了突破，自1958年以來，中國一直在開發(fā)真空開關(guān)。1960年，西安交通大學和西安開關(guān)整流器廠共同開發(fā)了一批6.7的真空開關(guān)，分斷能力為600kV；然后制成10kV，分斷能力為1.5kV的三相真空開關(guān)。1969年，華光電子管廠和西安高壓電器研究所制造了10kV和2kV單相快速真空開關(guān)。20世紀70年代以后，中國可以獨立開發(fā)和生產(chǎn)各種規(guī)格的真空開關(guān)。

真空斷路器通常可分為多個電壓等級。低壓型一般用于防爆電氣。如煤礦等。